Apakah takuk wafer?
Takik ialah alur kecil yang dipotong terus di bawah wafer silikon, biasanya dalam bentuk V atau U. Notch mempunyai dua fungsi. Salah satunya adalah untuk menandakan orientasi kristal wafer silikon, seperti<100>, <110>, <111>, dsb. Fungsi lain adalah untuk membolehkan wafer silikon diletakkan dengan betul dan diselaraskan dalam peralatan pembuatan semikonduktor. Secara amnya, takuk ditemui dalam 8-inci dan 12-wafer inci.
Apakah rupa Notch?
Saiz takuk mesti mematuhi piawaian SEMI, seperti yang ditunjukkan dalam rajah di atas:
1. Vw mewakili jumlah lebar takuk, dan saiznya berkaitan dengan diameter dan ketebalan wafer silikon.
2. Vh ialah kedalaman takuk, yang menunjukkan jarak menegak dari tepi wafer silikon ke bahagian bawah alur. Ia biasanya berjulat daripada 1.0 hingga 1.25 mm. Vh adalah penting untuk memastikan ketepatan penjajaran takuk.
3. AngV, iaitu Sudut Takik. AngV ialah sudut takuk, iaitu sudut antara tepi alur pada kedua-dua belah. Ia biasanya antara 89 darjah dan 95 darjah . Sudut ini memainkan peranan yang menentukan dalam geometri dan kedudukan takuk.
4. R1 dan R2 mewakili jejari bucu pada kedua-dua belah takuk. Kedua-dua jejari ini menentukan kelancaran sudut alur, mempengaruhi kepekatan tegasan takuk, dan menjejaskan sifat mekanikal wafer silikon.
5. Vr ialah jejari kelengkungan di bahagian bawah takuk, menunjukkan saiz lengkok di bahagian bawah alur. Vr boleh mengubah bentuk lengkung dan kelancaran takuk. Vr yang lebih besar boleh menjadikan bahagian bawah takuk lebih rata, yang membantu mengurangkan kepekatan tekanan.
6. Orientasi Takik: Arah alur adalah selari dengan orientasi kristal khusus wafer, dan sisihan ±2 darjah dibenarkan.
